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API 進(jìn)口激光干涉儀（美國(guó)自動(dòng)精密工程）

激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、、高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有*的精度和效率，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

API激光干涉儀

激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測(cè)量光束）則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒(méi)有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。 
    若光程差有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在每一次光程變化時(shí)，在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào)，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化。

API XD干涉儀線性定位誤差的測(cè)量方法:
¾ 一次安裝也可同時(shí)測(cè)量其它五個(gè)參數(shù);
¾ 可利用電腦中的直線度實(shí)時(shí)顯示,
數(shù)字化去除余弦差，測(cè)量準(zhǔn)確;
¾ 兩點(diǎn)調(diào)光，對(duì)光迅速

直線度測(cè)量— API XD的方法

應(yīng)用良好的PSD技術(shù)：光電位置敏感檢測(cè)器。它可將光敏面上的光點(diǎn)位置轉(zhuǎn)化為電信號(hào))

¾ 不怕斷光，可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試(類似于自準(zhǔn)直儀)
¾ 對(duì)直線度進(jìn)行1:1的測(cè)量
¾ 可一次性安裝, 與線性誤差一起測(cè)量, 方便, 快速

垂直度測(cè)量— API XD的方法

¾ API XD激光干涉儀是通過(guò)PSD技術(shù)1:1進(jìn)行直線度測(cè)量的，所以API干涉儀測(cè)兩軸垂直度時(shí)只需一個(gè)五角棱鏡既可，無(wú)需其他鏡組. 裝/調(diào)非常方便快速
¾ 在測(cè)兩軸的垂直度的同時(shí)，兩軸各自的線性定位誤差、直線度，偏擺角、俯仰角都可一次測(cè)出，大大節(jié)省了測(cè)量所占用機(jī)床的時(shí)間，也可避免人為差錯(cuò)。

偏擺角/俯仰角測(cè)量 — API XD的方法

¾ 良好的PSD技術(shù)來(lái)測(cè)量小角度: 當(dāng)入射光經(jīng)分光鏡射到凸透鏡上后，如果軸無(wú)角度變化，則光線經(jīng)透鏡聚在焦點(diǎn)上；如果軸有角度變化，則光線會(huì)在焦平面上的PSD光靶上得到兩個(gè)方向的坐標(biāo)值，從而與焦距比較得出角度值。
¾ 測(cè)量角度過(guò)程中不怕斷光, 可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試
¾ 不受滾動(dòng)角的影響，調(diào)整光路容易

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