雷尼紹激光干涉儀原理及應用概述 | |||||||||
點(diǎn)擊次數:4007 更新時(shí)間:2020-07-01 | |||||||||
干涉測量法的原理激光
口.口從激光頭射出的光波有三個(gè)關(guān)鍵特性: 口兩種模式的強度用光敏二極管測量. 通過(guò)加熱器控制激光管長(cháng)度采實(shí)現平衡 口一個(gè)角錐反射鏡緊緊固定在分光鏡上.形成固定長(cháng)度參考光束。另一個(gè)角錐反射鏡相對于分光鏡移動(dòng).形成變化長(cháng)度測量光束。 口如果兩光程差發(fā)生變化.每次光路變化時(shí)探測器都能觀(guān)察到相長(cháng)干涉和相消干涉兩端之間的信號變化。這.些變化(條紋)被數出來(lái).用于計算兩光程差的變化。測量的長(cháng)度等于條紋數乘以激光波長(cháng)的一半。應當注意到,激光波長(cháng)將取決于光束經(jīng)過(guò)的空氣的折射率。由于空氣折射率會(huì )隨著(zhù)氣溫、壓力和相對濕度的變化而變化.用于計算測量值的波長(cháng)值可能需要對這些環(huán)境參數的變化進(jìn)行補償。在實(shí)踐中.對于技術(shù)指標中的測量精度.只有線(xiàn)性位移(定位精度)測量需要進(jìn)行此類(lèi)補償.在這種情況下兩束光的光程差變化可能非常大。 激光系統應用:
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